特許

J-GLOBAL ID：200903071935687403

表面形状測定装置

発明者： 金山 和則 ,  水川 真 ,  渡部 昭憲
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325810
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178632
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 正確で安定した測定を高速で行うことができ、しかも小型で信頼性の高い表面形状測定装置を提供する。【構成】 光源1が二次元パターン状に配列された多数の発光素子1aから構成されているので、測定対象物の形状を二次元的に一度に測定することが可能となる。これにより、各反射光点の検知位置から測定対象物の三次元位置を算出することができ、しかも発光部を機械的に駆動する必要もない。また、個々の発光素子の発光の有無を任意に選択することにより、光源を配列パターンに沿った任意の明滅パターンにすることが可能である。

請求項（抜粋）：

二次元パターン状の光を測定対象物に照射するとともに、測定対象物からの反射光を光検出素子により受光し、受光した反射光の形状に基づいて測定対象物の表面形状を測定する表面形状測定装置において、前記二次元パターン状の光の光源を二次元パターン状に配列された多数の発光素子によって構成したことを特徴とする表面形状測定装置。