特許
J-GLOBAL ID:200903071977089344

吐出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-075944
公開番号(公開出願番号):特開2000-262946
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】 例えば半導体チップを樹脂封止材で封止する際に用いられる吐出装置において、単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくし、且つ、吐出線幅を比較的大きくする。【解決手段】 ノズル8の先端部の内径をある程度大きくすると共に、ノズル取付部材7の流路7aの内径をノズル8の先端部の内径よりも小さくする。すると、ノズル取付部材7の流路7aにより単位時間当たりの吐出量のバラツキを小さくすることができる。この結果、ノズル8の先端部の内径を比較的大きくして、吐出線幅を比較的大きくすることができる。
請求項(抜粋):
シリンダ内の流動性材料を前記シリンダ内に供給された圧縮気体による圧力によって前記シリンダの先端側に設けられたノズルから吐出するようにした吐出装置において、前記シリンダと前記ノズルとの間に前記ノズルの先端部の内径よりも小さい内径の流路が設けられていることを特徴とする吐出装置。
IPC (2件):
B05C 5/00 101 ,  H01L 21/56
FI (2件):
B05C 5/00 101 ,  H01L 21/56 E
Fターム (7件):
4F041AA06 ,  4F041BA12 ,  4F041BA36 ,  5F061AA01 ,  5F061BA03 ,  5F061CA05 ,  5F061DE06
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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