エネルギー分散型X線検出システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-254968
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071591
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】非破壊・非接触の特徴を有する蛍光X線分析で短時間での正確な分析を実現するようにすること。【解決手段】共通のX線発生源と、一次X線を絞るためのコリメーターと、元素分析手段としての蛍光X線分析のためのエネルギー分散型X線検出システムとして、一つは計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れたセンサーと、もう一つはエネルギー分解能は悪いが計数効率の優れたセンサーを並置させたエネルギー分散型の検出器を利用する。エネルギー分解能が優れた検出器信号を定量分析のための先見情報として利用するための定性分析に利用し、計数効率の優れた検出器信号を定量分析に利用する方式で、検出器の後段プリアンプの後は、個別のリニアアンプ、波高分析器からなり、共通の制御・演算部で定性用・定量用スペクトルとして処理する構成からなる。

請求項（抜粋）：

共に形状寸法が小さく計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れたセンサー1・4として計数回路の時定数を長く設定して利用するシリコンドリフトチェンバー(SDD-1)、マイクロカロリメータ(MC)あるいはジョセフソン接合型の超伝導X線検出器(STJ’s)と、エネルギー分解能は悪いが計数効率の優れたセンサー2・5として計数回路の時定数を短く設定して利用するシリコンドリフトチェンバー(SDD-2)、高純度Si半導体検出器あるいはSi(Li)半導体検出器(SSD)を並置・一体化させたエネルギー分散型の検出器。エネルギー分解能が優れた検出器(センサー1・4)信号を定量分析のための先見情報として利用するための定性分析に利用し、計数効率の優れた検出器(センサー2・5)信号を定量分析に利用する方式で、本検出器の後段は個別のプリアンプ、リニアアンプ、波高分析器からなり、共通の制御・演算部で定性用・定量用スペクトルとして処理するように構成されたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出システム。

IPC (4件)：

G01N 23/223 , G01N 23/225 , G01T 1/24 , G01T 1/36

FI (5件)：

G01N 23/223 , G01N 23/225 , G01T 1/24 , G01T 1/36 A , G01T 1/36 D

Fターム (18件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001BA04 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA06 , 2G001DA10 , 2G001GA01 , 2G001HA01 , 2G001JA11 , 2G001KA01 , 2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088GG22 , 2G088KK01 , 2G088KK27

引用特許：

審査官引用 (2件)

蛍光X線分析装置および蛍光X線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-270069 出願人：株式会社テクノス研究所
特開昭61-170606

引用文献：

審査官引用 (3件)

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