蛍光X線分析装置および蛍光X線検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108861
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】測定困難な対象元素を解消して、小型で測定自由度が高い蛍光X線分析装置および蛍光X線検出器を提供する。【解決手段】蛍光X線検出器10は、シリコンウエハ上のAl、Na、Mgが発生する蛍光X線を検出する小面積のSi検出素子12と、Al、Na、Mg以外の元素が発生する蛍光X線を検出するGe検出素子11と、検出素子11、12を収納する単一の真空冷却容器と、検出素子11用の窓部材23と、検出素子12用の窓部材24と、各検出素子の検出エリアを制限する第1および第2コリメータとを備え、窓部材23はBe膜で形成され、窓部材24は高分子膜、窒化ボロン膜、グラファイト膜、ダイヤモンド膜などで形成され、第1コリメータの表面はAl、NaおよびMgを含まない材料で形成され、第2コリメータはAlで形成されている。

請求項（抜粋）：

シリコンウエハの表面に全反射入射角度で6keV以下のX線エネルギーを有する第1励起X線を照射するための第1X線照射手段と、シリコンウエハの表面に全反射入射角度で8keV以上のX線エネルギーを有する第2励起X線を照射するための第2X線照射手段と、第1励起X線によって励起されて、シリコンウエハ上に存在するAl、NaおよびMgのうち少なくとも1つの元素が発生する第1蛍光X線を検出するための第1X線検出素子と、第2励起X線によって励起されて、シリコンウエハ上に存在する、Al、NaおよびMg以外の元素が発生する第2蛍光X線を検出するための第2X線検出素子とを備え、第1X線検出素子の検出面積が第2X線検出素子の検出面積より小さいことを特徴とする蛍光X線分析装置。

引用特許：

審査官引用 (9件)

蛍光X線分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144054 出願人：理学電機工業株式会社, 株式会社東芝
特開平3-246862
蛍光X線分析方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-350602 出願人：花王株式会社, 株式会社テクノス

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