特許
J-GLOBAL ID：200903072108758933

弾性表面波素子、液位検出装置

発明者：
山中 國人

山中 國人 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-133007
公開番号（公開出願番号）：特開2007-303977
出願日： 2006年05月11日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】複数の共振周波数を有する弾性表面波素子と、この弾性表面波素子を用いて液体の量を液位として検出する液位検出装置を提供する。【解決手段】液位検出装置は、圧電基板21上に複数の所定共振周波数にて励振されるIDT電極30を備え、IDT電極30が、異なる所定の共振周波数f1,f2,f3を有する複数の電極指群40,41,42から構成される。これら複数の電極指群40,41,42が、圧電基板21上に位置をずらして配設され、弾性表面波素子20は液体2の中に配設される。液体2が複数の電極指群40,41,42のいずれかに接触する状態によって生じる共振周波数f1,f2,f3の帯域における挿入損失の差異を検出し、この挿入損失の変化から液体2の液位を検出する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
圧電基板上に複数の所定共振周波数にて励振するIDT電極を備える弾性表面波素子であって、 前記IDT電極が、異なる所定の共振周波数を有する複数の電極指群から構成され、前記複数の電極指群が、前記圧電基板上に位置をずらして配設され、 前記複数の電極指群のいずれかに外部負荷が付加された際に、当該電極指群の周波数特性の変化を検出することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
G01F 23/22 ,  H03H 9/145 ,  H03H 9/25
FI (3件)：
G01F23/22 H ,  H03H9/145 Z ,  H03H9/25 Z
Fターム (9件)：
2F014AB04 ,  2F014CB01 ,  5J097AA28 ,  5J097BB02 ,  5J097CC04 ,  5J097CC15 ,  5J097DD07 ,  5J097HB08 ,  5J097KK03
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM