特許
J-GLOBAL ID：200903072120510416
レーザ加工装置及び固体レーザ共振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-066799
公開番号（公開出願番号）：特開2008-227378
出願日： 2007年03月15日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】2方向励起における熱レンズ等の発生を抑制或いは緩和させ、信頼性の向上を図る。【解決手段】励起光の入射面を構成する第1端面、励起光の入射面及び励起光の取り出し面を構成する第2端面を備える固体レーザ媒質21と、励起光源11から出力される励起光を、第1分岐経路B1及び第2分岐経路B2の2つの経路に分岐し、第1分岐経路B1から固体レーザ媒質21の第1端面に励起光の第1励起成分R1を、第2分岐経路B2から第2端面に第2励起成分R2を、第1励起成分R1が第2励起成分R2よりも多くなるように各々入射させるための分岐手段23とを備え、固体レーザ媒質21の第1端面に励起光の第1励起成分R1が、第2端面に第2励起成分R2が、各々投入されて固体レーザ媒質21が励起されるよう構成される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生させるためのレーザ共振部を含むレーザ制御部と、
前記レーザ制御部で発生されたレーザ光を後記レーザ出力部に伝達するための励起光伝達媒体と、
前記励起光伝達媒体で伝達されたレーザ光を走査させるためのレーザ光走査系を含むレーザ出力部と、
を備えるレーザ加工装置であって、
前記レーザ出力部が、
励起光を発生させる一の励起光源と、
一方向に延長され、2つの端面を有する結晶状の固体レーザ媒質であって、前記励起光源からの励起光を両端面から投入してレーザ発振を生じさせるものであり、且つ該端面として、
励起光の入射面を構成する第1端面と、
前記第1端面の反対側であって、励起光の入射面及び励起光の取り出し面を構成する第2端面と、
を備える固体レーザ媒質と、
前記励起光源から出力される励起光を、第1分岐経路及び第2分岐経路の2つの経路に分岐し、第1分岐経路から前記固体レーザ媒質の第1端面に励起光の第1励起成分を、第2分岐経路から第2端面に第2励起成分を、第1励起成分が第2励起成分よりも多くなるように各々入射させるための分岐手段と、
前記第1端面に対向させて第1分岐経路上に配置され、励起光を透過し且つレーザ発振光を前記第1端面側に反射させる第1ダイクロイックミラーと、
前記第2端面に対向させて第2分岐経路上に配置され、励起光を透過し且つレーザ発振光を、後記出力ミラーに向かって反射させる第2ダイクロイックミラーと、
分岐経路と干渉しない位置であって、レーザ発振光と略直交する方向に配置され、前記第2ダイクロイックミラーからの反射光を出力するための出力ミラーと、
を備え、前記固体レーザ媒質の第1端面に励起光の第1励起成分が、第2端面に第2励起成分が、各々投入されて固体レーザ媒質が励起されるよう構成されてなることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5件)：
H01S 3/093
, H01S 3/16
, H01S 3/00
, B23K 26/04
, B23K 26/08
H01S3/091 S
, H01S3/16
, H01S3/00 B
, B23K26/04 C
, B23K26/08 B
4E068CA11
, 4E068CE03
, 5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172AL04
, 5F172CC06
, 5F172EE14
, 5F172EE16
, 5F172NN07
, 5F172NN24
, 5F172NP12
, 5F172NQ33
, 5F172NQ46
, 5F172NQ70
, 5F172NS19
, 5F172ZZ01
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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