特許

J-GLOBAL ID：200903072167044413

T字型種結晶および保持治具

発明者： 近藤 総一郎
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004690
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194291
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】大重量の単結晶を引上げるときであっても、種結晶の破損や固定用ネジの緩みに起因する単結晶の落下を無くし、引上げられる単結晶の変形を防止する種結晶とその保持治具を提供する。【解決手段】(1) 坩堝内の原料を加熱溶融した溶融液の表面からCZ法によって単結晶を成長させる際に前記溶融液の表面に接触させて用いられる種結晶5であって、上部の水平部材11と水平部材の中央部で下方に延在する垂直部材12とが一体に結合するT字型で構成されていることを特徴とするT字型種結晶。(2) 上記(1) に記載のT字型種結晶を保持する治具6であって、T字型種結晶の水平部材11を把持し、かつT字型種結晶の垂直部材12を遊挿する一対の支持棒13を有することを特徴とするT字型種結晶用保持治具。

請求項（抜粋）：

坩堝内の原料を加熱溶融した溶融液の表面からチョクラルスキー法によって単結晶を成長させる際に前記溶融液の表面に接触させて用いられる種結晶であって、上部の水平部材と水平部材の中央部で下方に延在する垂直部材とが一体に結合するT字型で構成されていることを特徴とするT字型種結晶。

IPC (3件)：

C30B 15/32 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/32 ,  C30B 29/06 502 F ,  H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-293336   出願人：三洋電機株式会社
• 特開昭59-174595
  
• 特開昭59-131596