特許
J-GLOBAL ID:200903072229726478

誘導レーザービームのプラズマによる材料加工方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-511246
公開番号(公開出願番号):特表平10-506059
出願日: 1995年08月04日
公開日(公表日): 1998年06月16日
要約:
【要約】本発明は、誘導された高エネルギービームのプラズマによる材料加工方法に関する。この方法では、加工材料(10)の領域から発したビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸で時間に依存して観察する。蒸気毛細管(13)が加工材料(10)に浸入する深さに対する尺度を得るために、蒸気毛細管(13)の専ら横断面を、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度平均値を浸入深さに対する尺度として使用する。
請求項(抜粋):
誘導された高エネルギービーム、例えばレーザービームのプラズマによる材料加工方法であって、加工材料(10)の領域から発するビームを、加工材料(10)に集束されたレーザービーム(12)の軸線で時間に依存して観察する方法において、 蒸気毛細管(13)の専ら横断面だけを、加工材料の全厚さ(14)を検出する被写界深度で観察し、プラズマビームの強度の平均値を、浸入深さに対する尺度として使用する、ことを特徴とする材料加工方法。
IPC (2件):
B23K 26/00 ,  B23K 26/06
FI (2件):
B23K 26/00 P ,  B23K 26/06 E
引用特許:
出願人引用 (2件)

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