検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西脇民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-337761
公開番号（公開出願番号）：特開2008-153321
出願日： 2006年12月15日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】検査対象物を損傷させることなく効率よく検査対象物に付着している異物を除去することのできる検査装置を提供する。【解決手段】対物レンズ鏡筒24の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤26が設けられ、照明光導出用リング盤26から導出された照明光Pによって対物レンズ25の光軸Oとウエハ22との交差部位Qを含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、照明光導出用リング盤26にウエハ22に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部27が形成され、傾斜凹部27の壁面に対物レンズ鏡筒24の周回り方向から交差部位Qを含めてその周囲を照明する照明光Pを出射する照明光出射用輪帯部28が設けられると共に、交差部位Qを含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズル30が設けられている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

対物レンズを有する対物レンズ鏡筒の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤が設けられ、照明光導出用リング盤から導出された照明光によって対物レンズの光軸と検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、前記照明光導出用リング盤には検査対象物に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部が形成され、該傾斜凹部の壁面には前記対物レンズ鏡筒の周回り方向から前記対物レンズの光軸と前記検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明するための照明光を出射する照明光出射用輪帯部が設けられると共に、前記交差部位を含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズルが設けられていることを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01N 21/84 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L21/66 J , G01N21/84 Z , H01L21/30 502V

Fターム (13件)：

2G051AA51 , 2G051AC12 , 2G051BB02 , 2G051BB03 , 2G051BB17 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051DA07 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA41 , 4M106DB19 , 4M106DB30

引用特許：

出願人引用 (1件)

マスク検査装置および半導体デバイスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-190190 出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社

審査官引用 (6件)

特開昭61-024232
特開平1-264231
特開平3-264231

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引用文献：

審査官引用 (1件)

FA・マシンビジョン照明の基礎

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