特許
J-GLOBAL ID:200903072300062985
レーザ加工における材料除去レートを増大する方法および装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-549041
公開番号(公開出願番号):特表2005-511314
出願日: 2002年12月03日
公開日(公表日): 2005年04月28日
要約:
レーザ302バーストを使用する材料を修正するための方法および装置は、材料314、366修正を増大するために、適切に時間調整されたレーザパルス702、704を含む。一実施形態において、材料を修正するための方法は、レーザパルスのバーストを提供するステップを含み、各バーストは、少なくとも2つレーザパルス702、704を含み、各レーザパルスは、ほぼ10psから100nsの範囲内のパルス持続期間を有し、各バーストの各レーザパルス間の時間は、ほぼ5nsから5μs間の範囲内であり、連続するバースト間の時間は、各バーストを含む各レーザパルス間の時間より長く、この方法はさらに、バーストをワークピース314、366に向けるステップを含み、各バーストの一次レーザパルス702の強度は、ワークピースの損傷閾値を超える。
請求項(抜粋):
レーザパルスのバーストを供給するステップであって、前記バーストの各々は少なくとも2つレーザパルスを含み、前記レーザパルスの各々はほぼ10psから100nsの間の範囲内のパルス持続期間を有し、前記バーストの各々の前記レーザパルスの各々間の時間はほぼ5nsから5μsの間の範囲内にあり、連続するバースト間の時間は前記バーストの各々を含む前記レーザパルスの各々間の時間より長いステップと、
前記バーストをワークピースの方向に向けるステップであって、前記バーストの各々の一次レーザパルスの強度は、前記ワークピースの損傷閾値を超えるステップと
を備えたことを特徴とする材料を修正する方法。
IPC (3件):
B23K26/00
, H01S3/00
, H01S3/10
FI (4件):
B23K26/00 N
, B23K26/00 330
, H01S3/00 B
, H01S3/10 Z
Fターム (11件):
4E068AE00
, 4E068AF00
, 4E068AH00
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CB01
, 5F172NR05
, 5F172NR06
, 5F172NR22
, 5F172ZA04
, 5F172ZZ01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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