現像処理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107167
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050606
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】本発明は、現像不良をできる限り抑制することができる現像処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】被処理体に処理液を供給して現像処理を行う現像処理方法であって、被処理体表面上に純水を供給して前記被処理体表面上に純水の液膜を形成する工程と、前記純水の液膜が形成された前記被処理体表面上に処理液を供給する工程とを具備することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

被処理体に処理液を供給して現像処理を行う現像処理方法であって、被処理体表面上に純水を供給して前記被処理体表面上に純水の液膜を形成する工程と、前記純水の液膜が形成された前記被処理体表面上に処理液を供給する工程と、を具備することを特徴とする現像処理方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/30 , G03F 7/30 502

FI (4件)：

H01L 21/30 569 F , G03F 7/30 , G03F 7/30 502 , H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (7件)

現像方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-045075 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開昭61-177727
特開昭61-177727

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