液晶用配向膜の形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-174820
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026577
出願日： 1995年07月11日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】液晶分子の配向の均一性が優れ、微細な屑などの発生のない液晶用配向膜の形成方法を提供する。【解決手段】圧力約10-6Torrの真空容器1内に透明電極付きのソーダライムガラス基板2を揮発してくる反磁性有機化合物の分子流に対して、約50度の角度になる様に設定し、また、ヒーター3により、基板2の温度を約40°Cに保つ。超伝導磁石4により、真空容器1内に平行磁場をかけ、容器6をヒーター7で加熱して反磁性有機化合物5を揮発させ、前記基板2に反磁性有機化合物を厚み約0.2μm沈積させて液晶用配向膜を基板の上に形成する。

請求項（抜粋）：