特許
J-GLOBAL ID:200903072333088939

超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-184538
公開番号(公開出願番号):特開2004-025029
出願日: 2002年06月25日
公開日(公表日): 2004年01月29日
要約:
【課題】本発明の課題は、超臨界流体を用いて微細ガラス繊維を破損することなく洗浄し、さらに脱離した汚れが再付着しないように効率よく洗浄する超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽16と、洗浄槽16へ流入する流体の温度や圧力を徐々に昇圧および/または昇温して流体を超臨界または亜臨界状態にし、超臨界または亜臨界状態にした流体を洗浄槽16内に所定時間流通させ、洗浄槽16内に流通させた流体の温度や圧力を徐々に減圧および/または減温しながら洗浄槽16から流体を排出するように制御する制御装置26とを具備することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、 前記洗浄槽へ流入する流体の温度や圧力を徐々に昇圧および/または昇温して流体を超臨界または亜臨界状態にし、超臨界または亜臨界状態にした流体を洗浄槽内に所定時間流通させ、前記洗浄槽内に流通させた流体の温度や圧力を徐々に減圧および/または減温しながら洗浄槽から流体を排出するように制御する制御装置と を具備することを特徴とする超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置。
IPC (3件):
B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10
FI (3件):
B08B3/02 A ,  B08B3/08 Z ,  B08B3/10 Z
Fターム (8件):
3B201AA46 ,  3B201AB01 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB98 ,  3B201CD11 ,  3B201CD22
引用特許:
審査官引用 (3件)

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