特許
J-GLOBAL ID：200903053299542744
超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090362
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 被洗浄物をより清浄に洗浄することができ、かつ、短時間での洗浄が可能な超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置を提供する。【解決手段】 被洗浄物の洗浄を、少なくとも粗洗浄と精密洗浄の2回の洗浄により行う。粗洗浄時には圧力制御を行わず、精密洗浄時には圧力の精密制御を行う。
請求項（抜粋）：
超臨界状態の洗浄溶媒(超臨界流体)に被洗浄物を接触させることで、被洗浄物の洗浄を行う超臨界流体洗浄方法において、超臨界流体の昇圧を行わない状態で、所定時間、超臨界流体と前記被洗浄物とを接触させる粗洗浄工程と、超臨界流体の昇圧を含む圧力制御を行った状態で、所定時間、超臨界流体と前記被洗浄物とを接触させる精密洗浄工程と、を少なくとも含むことを特徴とする超臨界流体洗浄方法。
IPC (3件)：
B08B 3/08
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
B08B 3/08 Z
, H01L 21/304 341 L
, H01L 21/304 341 S
