固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松村博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124999
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321595
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】マイクロレンズによって集光された入射光のうち、電荷転送部上に設けられた遮光部によって遮光される光成分を減少させることにより、感度、画質の向上を図り、固体撮像装置自体の小型化および高画素化を実現する。【構成】マイクロレンズ9と受光部6の間において、マイクロレンズ9の下層にマイクロレンズ材料よりも高い屈折率を持つ中間膜8を有し、さらにその下層に中間膜よりも低い屈折率を持ち、かつ受光部中央にむかって凹状の曲率を持つ平坦化層7を有する。これにより、マイクロレンズ9に入射し、集光された光は、その下層のマイクロレンズ9よりも高い屈折率を持った中間膜8との屈折率の差により屈折し、そして、受光部6直上の中間膜8よりも低い屈折率を持ち、かつ凹状の曲率を持った平坦化層7により、さらに集光され、受光部6に入射することになる。

請求項（抜粋）：

受光部上にマイクロレンズが形成された固体撮像装置において、前記受光部と前記マイクロレンズの間にマイクロレンズと屈折率が異なる中間層を有することを特徴とする固体撮像装置。

引用特許：

出願人引用 (2件)

固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-300668 出願人：シヤープ株式会社
特開平4-075384

審査官引用 (2件)

固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-300668 出願人：シヤープ株式会社
特開平4-075384

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