特許

J-GLOBAL ID：200903072354860186

空洞内レーザースペクトル測定法(ILS)による長高感度ガス検出のためのダイオード・レーザーポンプ線形空洞レーザーシステム

発明者： アトキンソン,ジョージ エイチ ,  カリスキー,エホシュア ,  ザン,ジャミン ,  ハインマン,マックス ,  メウディザデウ,エスメイル ,  ウォルパーディンガー,マーカス
出願人/特許権者： イノヴェイティブ レーザーズ コーポレーション
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-511259
公開番号（公開出願番号）：特表平10-503288
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】1ppm(百万分の一)以下の濃度から1ppt(一兆分の一)まで延在する汚染物が空洞内レーザースペクトル測定法(ILS)を用いて光学的に検出される。光学的にポンピングされる固体レーザー(ILSレーザー)(500)を検出器として用いる。ILSレーザー(500)は、ポンピング供給源(100)によって光学的にポンピングされるレーザー空洞(902)に含まれるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。ガス種汚染物を含むガスサンプルはレーザー空洞(902)の内部で前記イオン拡散結晶(507)の一側面に置かれる。ILSレーザー(500)からの出力信号を検出分析し、(スペクトル・サインを介して)ガス種を同定する。ガス種の濃度もスペクトル・サインから決定できる。本発明の第1の実施例において、ILSレーザー(500)は半導体ダイオード・レーザー(914)により光学的にポンピングされるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。第2の実施例において、ILSレーザー(500)は線形レーザー空洞(902)に含まれるイオン拡散結晶媒体(507)を含む。半導体ダイオード・レーザー(914)および線形レーザー空洞(902)の使用によって他の設計に比べ比較的小型かつコンパクトにILSレーザー(500)を作成することができる。ガス検知システムが製造される小型/コンパクトな寸法は広範な現実用途に適合する。

請求項（抜粋）：

ガスサンプル中のガス種の存在を検知するためのガス検知システム(10)であって、 (a) レーザー空洞(902)と、 (b) 2つの端部を有するイオン拡散結晶(507)と、 (c) 前記レーザー空洞(902)の外部に配置され前記イオン拡散結晶(507)を光学的に励起することで前記レーザー空洞(902)から射出する出力ビームを発生する出力を有する半導体ダイオード・レーザー(914)と、 (d) 前記レーザー空洞(902)の外側に配置され前記半導体ダイオード・レーザー(914)の前記出力を整形するビーム整形光学系(200)と、 (e) 前記レーザー空洞(902)の前記ガスサンプルを保持するための容器(400、406)とを含み、前記イオン拡散結晶(507)の前記出力ビームが前記レーザー空洞(902)を出る前に前記ガスサンプルを通過することを特徴とするシステム。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/27 Z ,  G01N 21/01 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特表平4-501036
  
• 色素レーザ発振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-035147   出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
• 特開昭51-046182