特許
J-GLOBAL ID:200903072410251201

対物レンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 向 寛二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-218290
公開番号(公開出願番号):特開平8-062504
出願日: 1994年08月22日
公開日(公表日): 1996年03月08日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、接合レンズや各種硝材を用いることなく、1種類の硝材の屈折型光学素子と2枚の回折型光学素子とにて構成し、特定の2波長で効果的に色収差を含む諸収差が補正されかつ各倍率の射出瞳位置を揃えた対物レンズを提供することを目的とする。【構成】 本発明の対物レンズは、物体側から順に、凹面を物体側に向けたメニスカスレンズを含み全体として正のパワーの第1群と、正のパワーの第1の回折型光学素子と負のパワーの第2の回折型光学素子を含む第2群からなり、条件(1)〜(3)を満足し、少なくとも一つの回折型光学素子が条件(4),(5)のいずれかを満足するものである。(1) 0.5<R/D<5(2) 10<f<SB>1</SB> /f<100(3) 1<-f<SB>2</SB> /f<SB>1</SB> <10(4) φ<SB>D</SB> /φ<SB>M</SB> >0.8(5) (h・f)/(L・I)>0.07
請求項(抜粋):
物体側より順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズを含み全体として正のパワーの第1群と、正のパワーの第1の回折型光学素子と負のパワーの第2の回折型光学素子とを含む第2群とよりなり、下記条件(1),(2),(3)を満足し、又少なくとも一つの回折型光学素子が下記の条件(4),(5)のいずれかを満足する対物レンズ。(1) 0.5<R/D<5(2) 10<f<SB>1</SB> /f<100(3) 1<-f<SB>2</SB> /f<SB>1</SB> <10(4) φ<SB>D</SB> /φ<SB>M</SB> >0.8(5) (h・f)/(L・I)>0.07ただしRは前記メニスカスレンズの像側の面の曲率半径、Dは前記メニスカスレンズの肉厚、f<SB>1</SB> ,f<SB>2</SB> は夫々第1の回折型光学素子および第2の回折型光学素子の焦点距離、fは対物レンズ全系の焦点距離、φは回折型光学素子におけるマージナル光束の径、φ<SB>M</SB> は最大マージナル光束径、hは回折型光学素子面での最大主光線高、Lは同焦点距離、Iは標本面における最大像高である。
IPC (3件):
G02B 21/02 ,  G02B 13/18 ,  G02B 27/42
引用特許:
審査官引用 (4件)
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