特許
J-GLOBAL ID：200903072436237940
石英ガラス部材の強化方法と強化処理した石英ガラスルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-295832
公開番号（公開出願番号）：特開2004-131317
出願日： 2002年10月09日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】石英ガラスルツボなどの石英ガラス部材について、不純物が混入せず高品質な強化方法を提供する。【解決手段】石英ガラス部材の表面に石英ガラス粉末層を設け、この石英ガラス粉末を高温下で結晶化させることを特徴とする石英ガラス部材の強化方法であり、石英ガラスルツボについて、その表面全体または表面の一部に石英ガラス粉末層を設け、該石英ガラスルツボに装入したシリコン原料を加熱溶融する際に、その加熱温度によってルツボ表面の石英ガラス粉末を結晶化させることによって石英ガラスルツボを強化する方法、および強化処理した石英ガラスルツボ。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
石英ガラス部材の表面に石英ガラス粉末層を設け、この石英ガラス粉末を高温下で結晶化させることによって石英ガラス部材を強化することを特徴とする石英ガラス部材の強化方法。
IPC (4件)：
C03B20/00
, C03C10/14
, C30B15/10
, C30B29/06
C03B20/00 H
, C03B20/00 A
, C03B20/00 E
, C03C10/14
, C30B15/10
, C30B29/06 502B
4G014AH00
, 4G062AA11
, 4G062BB02
, 4G062MM01
, 4G062MM40
, 4G062NN31
, 4G062NN33
, 4G062NN34
, 4G062QQ02
, 4G062QQ03
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD01
, 4G077PD05
