圧電式アクチュエータを製造するための方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-580251
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529916
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】本発明は、多数の圧電式アクチュエータを製造するための方法であって:フィルム(10)を圧電式のセラミック材料より製造し、フィルム(10)の少なくとも1つの表面に電極(3)を被着し、フィルム(10)を積み重ねて圧縮して1つのスタックを形成し、スタックを各アクチュエータ(1)に分離する、という方法段階を有している。本発明によれば、フィルム(10)を積み重ねる前に、しかも焼結する前に、それぞれのアクチュエータ(1)のための少なくとも1つの切欠(11)をフィルム(10)に設け、フィルム(10)の切欠(11)を、積み重ね時に正確に整列させて互いに上下に配置するようにした。

請求項（抜粋）：

多数の圧電式アクチュエータを製造するための方法であって、以下の方法段階つまり、圧電式のセラミック材料よりフィルム(10)を製造し、該フィルム(10)の少なくとも1つの表面に電極(3)を被着し、フィルム(10)を積み重ねて圧縮して1つのスタックを形成し、該スタックを各アクチュエータ(1)に分離する、方法段階で行う方法において、フィルム(10)を積み重ねる前に、しかも焼結する前に、それぞれのアクチュエータ(1)のための少なくとも1つの切欠(11)をフィルム(10)に設け、フィルム(10)の切欠(11)を、積み重ね時に正確に整列させて互いに上下に配置することを特徴とする、圧電式アクチュエータを製造するための方法。

IPC (4件)：

H01L 41/22 , F02M 51/00 , F02M 51/06 , H01L 41/083

FI (4件)：

F02M 51/00 E , F02M 51/06 N , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 S

Fターム (10件)：

3G066AB02 , 3G066BA04 , 3G066BA61 , 3G066BA67 , 3G066CC06U , 3G066CC14 , 3G066CC40 , 3G066CD18 , 3G066CE27 , 3G066CE31

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-269532
特開昭63-055986
多層電子素子製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-504271 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ

全件表示

審査官引用 (5件)

特開平1-269532
特開昭63-055986
多層電子素子製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-504271 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ

全件表示

前のページに戻る