特許

J-GLOBAL ID：200903072483433456

アルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体およびその製造方法並びにその用途

発明者： 小川 展弘 ,  白倉 義法 ,  毛利 隆
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-050163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-258836
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】【構成】 密度5.6g/cm3〜5.77g/cm3、焼結粒径2μm〜50μm、アルミニウム成分の最大分散凝集径が5μm以下、アルミニウムの含有量が酸化アルミニウム換算で0.5重量%以上、抵抗率1×10-2Ωcm以下のアルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体およびこの焼結体からなるスパッタリングターゲット。【効果】 ターゲット-基板間距離が長くなったとしても膜の導電性が大きく低下せず、かつ、低抵抗な膜が得られる。

請求項（抜粋）：

密度5.6g/cm3〜5.77g/cm3、焼結粒径2μm〜50μm、アルミニウム成分の最大分散凝集径が5μm以下、アルミニウムの含有量が酸化アルミニウム換算で0.5重量%以上、抵抗率1×10-2Ωcm以下のアルミニウムドープ酸化亜鉛焼結体。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/453 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 31/04 ,  H01B 13/00 503

FI (2件)：

C04B 35/00 P ,  H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-149459
  
• 特開平4-104937
  
• 特開平4-219359
  
• 酸化亜鉛系スパッタリング用ターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-180352   出願人：三菱マテリアル株式会社