特許
J-GLOBAL ID：200903072484254970
MEMSミラー装置の評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-013752
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201056
出願日： 2005年01月21日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】MEMSミラー装置の駆動電極の不良の発生箇所とその症状を正しく判定する。【解決手段】評価装置は、MEMSミラー装置のミラー203に光ビームを照射する光源1と、ミラー203で反射された光ビームの軌跡を2次元的に計測する計測器2と、MEMSミラー装置の駆動電極103-1〜103-4に評価用の電圧を独立に印加する制御装置3と、計測器2の計測結果から駆動電極103-1〜103-4の良否を判定する判定装置4とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ミラーとこれに対向する複数の駆動電極とを備えたMEMSミラー装置の前記複数の駆動電極の良否を判定する評価装置であって、
前記ミラーに光ビームを照射する光源と、
前記ミラーで反射された光ビームの軌跡を2次元的に計測する計測器と、
前記複数の駆動電極に評価用の電圧を独立に印加する制御装置と、
前記計測器の計測結果から前記複数の駆動電極の良否を判定する判定装置とを有することを特徴とするMEMSミラー装置の評価装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, B81C 5/00
, G02B 26/08
G01M11/00 M
, G01M11/00 T
, B81C5/00
, G02B26/08 E
2G086EE12
, 2G086GG04
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ05
