特許
J-GLOBAL ID：200903010202651560
ミラー位置調整装置およびミラー位置調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063553
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271977
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】ミラーの位置ずれ調整時間の短縮化を可能とするミラー位置調整装置および位置調整方法を提供すること【解決手段】微分駆動法では、位置調整対象であるミラーを微小駆動(回転)させたときのミラー駆動(回転)量と駆動位置における光ビーム強度とから光強度微分値を求め、この光強度微分値と所定のステップ量とから次の移動目標位置を算出し、その目標位置に順次ミラーを移動させることによりミラーを最適位置に調整するようにした。また、円駆動法では、ミラーから反射した光ビームが円環状の軌跡を描くようにミラーを円駆動させ、円駆動中の任意の角度における光ビーム強度を検出し、その中で最大の光ビーム強度を検出した角度を算出し、その角度にミラーを調整する手順を順次繰り返して光ビームが最大になる位置にミラーを調整するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
回転可能なミラーと当該ミラーの反射光ビーム強度を検出可能な光強度検知手段とを用いたミラーの位置調整方法であって、
位置調整対象であるミラーを予め設定された量だけ微小回転させて変位させる第1のステップと、
変位後のミラー位置における光ビーム強度を検出する第2のステップと、
当該検出された光ビーム強度に基づいてミラーの回転量を算出してミラーを変位させる第3のステップとを備え、
前記第2のステップと第3のステップを繰り返して所定の光ビーム強度が得られるように前記ミラーを位置調整することを特徴とするミラー位置調整方法。
IPC (3件)：
G02B26/08
, G01M11/00
, G02B7/198
G02B26/08 E
, G01M11/00 M
, G02B7/18 B
2G086FF04
, 2G086GG01
, 2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AZ00
, 2H041AZ06
, 2H043AA02
, 2H043AA11
, 2H043AA17
, 2H043AA21
, 2H043AA25
, 2H043AA27
, 2H043AB05
, 2H043AB06
, 2H043AB07
, 2H043AB09
, 2H043AB30
, 2H043BB04
, 2H043BB05
, 2H043BC06
, 2H043CA07
, 2H043CA08
, 2H043CD03
, 2H043CD04
