特許

J-GLOBAL ID：200903072487119950

水素分離膜およびその製造方法

発明者： 木内 正人 ,  松谷 貴臣 ,  日数谷 進 ,  荒木 貞夫
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  日立造船株式会社
代理人 (3件)： 三枝 英二 ,  掛樋 悠路 ,  関 仁士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-232934
公開番号（公開出願番号）：特開2007-044637
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】高温下でも化学的に安定なケイ素化合物セラミックスからなる水素選択性の高い水素分離膜を、低温で製造する方法を提供する。【解決手段】成膜チェンバー内に液体有機ケイ素化合物を気化させた材料ガスおよび反応ガスを導入し、該チェンバー内に設けられた電極間に電位的に正負非対称の交番電圧を印加してプラズマを発生させ、該チェンバー内に設置された基材上にケイ素化合物セラミックスからなる水素分離膜を製造する方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

成膜チェンバー内に液体有機ケイ素化合物を気化させた材料ガスおよび反応ガスを導入し、該チェンバー内に設けられた電極間に電位的に正負非対称の交番電圧を印加してプラズマを発生させ、該チェンバー内に設置された基材上にケイ素化合物セラミックスからなる水素分離膜を製造する方法。

IPC (4件)：

B01D 71/02 ,  B01D 69/04 ,  C23C 16/42 ,  C04B 41/85

FI (4件)：

B01D71/02 500 ,  B01D69/04 ,  C23C16/42 ,  C04B41/85 C

Fターム (22件)：

4D006GA41 ,  4D006HA28 ,  4D006MA02 ,  4D006MA06 ,  4D006MA09 ,  4D006MC01X ,  4D006NA43 ,  4D006PA01 ,  4D006PB66 ,  4D006PC80 ,  4G140FA04 ,  4G140FB05 ,  4G140FC01 ,  4G140FE01 ,  4K030AA01 ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030BA44 ,  4K030CA05 ,  4K030CA14 ,  4K030DA08 ,  4K030FA03