乾式プロセスガス

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-111345
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303181
出願日： 1997年04月28日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【解決手段】成分にアミン化合物のフッ化物を含む乾式プロセスガスと、該乾式プロセスガスを用いた乾式エッチング方法及び乾式クリーニング方法。【効果】本発明によれば地球環境に優しく、かつ微細加工が可能な乾式エッチング方法と、効果的な乾式クリーニング方法を提供できる。

請求項（抜粋）：

成分にアミン化合物のフッ化物を含む乾式プロセス用ガス。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 , C23F 4/00 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

H01L 21/302 F , C23F 4/00 E , H01L 21/304 341 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

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