特許

J-GLOBAL ID：200903072498449359

逆流防止装置

発明者： 笹原 勝之
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327579
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185228
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】ガス供給装置と反応室とのガス供給配管途中に設けられる逆流防止装置において、確実に弁の開閉し逆流することなく円滑にガスの供給ができるとともに上流側の不要なガスを抜き取ることができるようにする【構成】遮断バルブ1の上流側ガス管2に第1の圧力計3下流側ガス管4に第2の圧力計5を設け、第1の圧力計3と第2の圧力計5の圧力差を比較回路6に入力しあらかじめ設定器7にて設定されていた順方向圧または逆方向圧と比較して大小を判定し遮断バルブ1の開閉を行なう。

請求項（抜粋）：

ガス供給装置と反応室との間のガス配管途中に配設されるとともにソレノイドに通電することで開閉する遮断バルブと、この遮断バルブの上流側のガス配管内の圧力と前記遮断バルブの下流側のガス配管内の圧力との圧力差を測定する手段と、測定された前記圧力差と予じめ設定された圧力差と比較してその大きさに差があるか否かで前記遮断バルブの開閉を制御する制御手段とを備えることを特徴とする逆流防止装置。

IPC (3件)：

G05D 7/06 ,  F16K 15/00 ,  F16K 17/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭52-032114
  
• 流量制御弁の制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165804   出願人：株式会社竹中工務店, 株式会社大氣社