特許
J-GLOBAL ID:200903072518385760

共心球分光計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 斎藤 侑 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-359084
公開番号(公開出願番号):特開2000-186959
出願日: 1999年12月17日
公開日(公表日): 2000年07月04日
要約:
【要約】【課題】 比較的安価な小型の直線型検出器の使用できるようにする。【解決手段】 原子発光分光計用検出システムは、1組の凹型球状ミラー60、70の曲率半径の半分の曲率半径を持つ球状凸型回折格子50を有する。前記回折格子50とミラー60、70はチャンバ内に設置され、これらの曲率中心は焦点面に一致し、焦点面においては比較的小型の複数の分離した直線型検出器80、84、86、88が入射スリット40の両側に設置され、これによって、対象とする波長のスペクトル帯域における交互のセグメントの検出が可能となる。
請求項(抜粋):
原子発光分光計用共心球(centered sphere)検出システムにおいて、入射スリットを有するチャンバと、前記チャンバ内に設置され、前記入射スリットからオフセットされた中心軸にそって配置され、第一の曲率半径を有する球状凸型回折格子と、前記格子の曲率半径の約2倍の曲率半径を有する第一凹型球状ミラーであって、その曲率中心が前記回折格子の曲率中心と一致するように前記格子の前記中心軸に対して第一の方向にオフセットして位置決めされた第一凹型球状ミラーと、前記格子の曲率半径の約2倍の曲率半径を有する第二凹型球状ミラーであって、その曲率中心が前記第一ミラー及び前記回折格子の曲率中心と一致するように前記格子の前記中心軸に対して前記第一ミラーと反対側に位置決めされ、離間した正及び負の回折オーダーを提供する第二凹型球状ミラーと、前記第一ミラー及び第二ミラーによって反射した光エネルギーを受け入れるために前記ミラーの焦点面に沿って離間して配置された複数の分離イメージセンサとを有する検出システム。
IPC (2件):
G01J 3/18 ,  G01J 3/28
FI (2件):
G01J 3/18 ,  G01J 3/28
引用特許:
審査官引用 (2件)
引用文献:
審査官引用 (4件)
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