特許
J-GLOBAL ID：200903072544870897

ウィーンフィルタ

発明者：
向井 雅貴

向井 雅貴 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-321980
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135336
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】 ウィーンフィルタ内で静電偏向場、及び静磁偏向場に付随して発生する六極子場に対して、静電六極子場を積極的に発生させ、3回非点を補正する。【解決手段】 静電場発生部4は、この12極型ウィーンフィルタが適用されるモノクロメータにおいてスリット上でビームを絞るために、ユーザが操作部6を使って操作した指示にしたがって、各電源の印加電圧を調整し、静電偏向場、静電四極子場、静電六極子場のような多重極静電場を発生する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
Z軸にほぼ平行な光軸を有し、この光軸に直交する二つの軸をX軸及びY軸としたとき、X軸方向に静電偏向場を生成し、Y軸方向に静磁偏向場を生成するウィーンフィルタにして、Z軸方向において光軸に平行に伸びる2n(nは4以上の整数)個の極を有し、かつXY面内において、光軸に面する各極の先端部が、光軸を中心として回転対称性を有するウィーンフィルタにおいて、 前記2n個の極に独立に電源を供給する5つの独立制御可能な電源部を制御することにより前記静電偏向場に加えて静電四極子場、さらに静電六極子場を発生する静電場発生手段を備え、 前記静電場発生手段により前記静電六極子場を発生させ、3回非点を補正することを特徴とするウィーンフィルタ。
IPC (2件)：
H01J 37/05 ,  H01J 37/153
FI (2件)：
H01J37/05 ,  H01J37/153 Z
Fターム (3件)：
5C033AA02 ,  5C033AA07 ,  5C033JJ01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ウィーンフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-031993   出願人：日本電子株式会社
  • ウィーンフィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-258353   出願人：日本電子株式会社
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM