特許
J-GLOBAL ID：200903072558589279
グレーティング型光部品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176593
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352340
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 目標の特性を有するグレーティング型光部品を再現性よく容易に製造する。【解決手段】 光ファイバ1に広帯域光源2からの光を入射させ、この光がグレーティング形成領域6で反射する光反射特性を光スペクトラムアナライザ3でモニタしながら、レーザからの紫外光を予め定められるエネルギ密度でシリンドリカルレンズ9とフェイズマスク13を介してグレーティング形成領域6に照射し、グレーティングを形成する。測定したグレーティング特性が予め定められる第1の基準値に達した以降は、図1の(b)に示すように、レンズ9のレーザおよび光ファイバ1との相対位置を可変することにより、前記レーザビームのエネルギ密度を前記密度よりも低くしてグレーティング形成を行ない、測定したグレーティングの特性が第1の基準値よりも目標特性値に近い予め定められる第2の基準値に達したときにグレーティング形成を終了する。
請求項（抜粋）：
光導波路を有し、該光導波路におけるグレーティング形成領域の屈折率が光軸方向に周期的に変化するグレーティング型光部品の製造方法であって、前記グレーティング形成領域の特性を測定しながらレーザビームのエネルギ密度を予め定められる高い密度としてグレーティング形成領域に照射し、測定したグレーティングの特性が予め定められる第1の基準値に達した以降は前記レーザビームのエネルギ密度を前記密度よりも低くしてグレーティングの形成を行なうことを特徴とするグレーティング型光部品の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 6/10
, G02B 6/122
, G02B 6/13
, G02B 6/16
G02B 6/10 C
, G02B 6/16
, G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
