特許
J-GLOBAL ID:200903072582555989
光式多ガス濃度検出方法及び装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-060974
公開番号(公開出願番号):特開2007-240248
出願日: 2006年03月07日
公開日(公表日): 2007年09月20日
要約:
【課題】装置が安価で簡易に計測ができる光式多ガス濃度検出方法及び装置を提供する。【解決手段】レーザ光の変調と掃引をする複数の光源部2の変調周波数及び掃引範囲を異ならせ、各光源部5の出力を合波し、合波されたレーザ光を光ファイバ17でガス検出部18に導き、その透過光を光ファイバ26で受光器7に導き、その受光信号を、順次、上記光源部5ごとの変調周波数で位相敏感検波して上記光源部5ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形からそれぞれの掃引範囲に吸収線を有する複数種類の対象ガスの濃度を求める。【選択図】図1
請求項(抜粋):
レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で掃引する複数の光源部を、各々変調周波数及び掃引範囲を異ならせ、これらの光源部の出力を合波し、その合波されたレーザ光を光ファイバでガス検出部に導いてガス検出部内の被測定雰囲気中に透過させ、そのガス検出部の透過光を光ファイバで受光器に導いて受光し、その受光信号を、順次、上記光源部ごとの変調周波数で位相敏感検波して上記光源部ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形からそれぞれの掃引範囲に吸収線を有する複数種類の対象ガスの濃度を求めることを特徴とする光式多ガス濃度検出方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (18件):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC04
, 2G059CC06
, 2G059CC13
, 2G059EE01
, 2G059FF10
, 2G059FF11
, 2G059GG01
, 2G059GG03
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ17
, 2G059JJ30
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059MM01
引用特許:
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