特許

J-GLOBAL ID：200903072592535757

エポキシ含有物質を含むネガ型感光性樹脂組成物

発明者： 荒尾 圭 ,  野村 真
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (2件)： 千田 稔 ,  橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-056106
公開番号（公開出願番号）：特開2006-243157
出願日： 2005年03月01日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 プリント配線板等に用いられるネガ型感光性樹脂組成物において、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する良好な現像性を有し、かつ層間絶縁樹脂として要求される耐熱衝撃性を有すること。【解決手段】 エポキシ含有物質およびポリパラビニルフェノールを含むネガ型感光性樹脂組成物において、複数のエポキシ含有物質の混合物を用いることにより、TMAH水溶液により現像することができ、改良された耐熱衝撃性を提供することができる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)ビニルフェノール樹脂、(B)ビフェニル-フェノール樹脂および(C)少なくとも2種のエポキシ含有物質を含む、ネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (15件)：

2H025AB01 ,  2H025AB08 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB28 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性組成物及びプロセス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-082853   出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
• フェノール-ビフェニレン樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-029930   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
• エポキシ含有物質を含むネガ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-022666   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
• 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-073953   出願人：日立化成工業株式会社

審査官引用 (2件)

• エポキシ含有物質を含むネガ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-022666   出願人：ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
• 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-073953   出願人：日立化成工業株式会社