落下検出装置および露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：古谷史旺 , 森俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-310260
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123360
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】被搬送物が落下した場合に、被搬送物を保護し、同時に、被搬送物の落下を検出する落下検出装置、および、この落下検出装置を備えた露光装置を提供する。【解決手段】被搬送物45を搬送する搬送手段17,45の搬送路の下側に配置される網状部材51、59、65、67、69と、網状部材51、59、65、67、69に配置され網状部材51、59、65、67、69の振動を検出する振動検出手段53とを有する。また、振動検出手段53は、網状部材51、59、65、67、69に間隔を置いて複数配置され、複数の振動検出手段53からの信号に基づいて被搬送物45の落下位置を推定する落下位置推定手段を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被搬送物を搬送する搬送手段の搬送路の下側に配置される網状部材と、前記網状部材に配置され前記網状部材の振動を検出する振動検出手段と、を有することを特徴とする落下検出装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 , H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/68 A , H01L21/30 502J , G03F7/20 521

Fターム (36件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031HA16 , 5F031HA53 , 5F031JA01 , 5F031JA17 , 5F031JA21 , 5F031JA22 , 5F031JA45 , 5F031JA51 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031KA14 , 5F031MA13 , 5F031MA27 , 5F031NA05 , 5F031NA07 , 5F031PA06 , 5F031PA08 , 5F031PA20 , 5F031PA30 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CD01 , 5F046CD02 , 5F046CD05 , 5F046CD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-347877 出願人：株式会社ニコン

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