特許
J-GLOBAL ID：200903072711549559
石英ガラス、それを含む光学部材、並びにその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002828
出願日： 1996年01月08日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【目的】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射しても透過率の低下を生じさせない、耐紫外線性の向上した石英ガラス光学部材を提供する。【構成】 400nm以下の特定波長帯域で使用される石英ガラス光学部材において、構造決定温度を1200K以下とする。
請求項（抜粋）：
400nm以下の波長帯域の光と共に使用される石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつ水素分子濃度が1×1017molecules/cm3以上であることを特徴とする石英ガラス。
IPC (6件)：
C03B 20/00
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, C03C 3/06
, C03C 23/00
, G02B 1/00
C03B 20/00
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, C03C 3/06
, C03C 23/00 D
, G02B 1/00
