特許
J-GLOBAL ID：200903084108937488
紫外線照射による歪が抑制された石英ガラス部材
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164040
公開番号（公開出願番号）：特開平9-012324
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【目的】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射によってもレンズの結像性能を劣化させない石英ガラス光学部材を提供する。【構成】 水素分子を1×1017molecules/cm3以上含有する理想的な構造を持ち、ArFエキシマレーザをワンパルスエネルギー密度50mJ/cm2で5×106ハ ゚ルス照射した後の部材に発生する波長633nmにおける最大歪量が10nm/cm以下である石英ガラス光学部材を、ステッパ等の紫外線光学系に用いる。
請求項（抜粋）：
ArFエキシマレーザを平均ワンパルスエネルギー密度50mJ/cm2で5×106パルス照射した後に発生する、波長633nmにおける最大歪量が10nm/cm以下であることを特徴とする石英ガラス光学部材。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, G02B 1/00
C03B 20/00
, C03B 8/04
, C03B 19/14
, G02B 1/00
