特許
J-GLOBAL ID:200903072715832476
絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物及び絶縁パターンの形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
服部 平八
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-301095
公開番号(公開出願番号):特開2006-091903
出願日: 2005年10月17日
公開日(公表日): 2006年04月06日
要約:
【課題】分散性、塗膜性及び長期保存安定性の優れた絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物及びそれを用いた絶縁パターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子、(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物及び(f)有機溶媒を含有する絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物であって、前記(e)成分が特定の有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物からなり、分散性、塗膜性及び長期保存安定性に優れた絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物、及び前記絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物を回路等を形成した基板に塗布し、露光する絶縁パターンを形成する方法。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(a)アルカリ可溶性高分子バインダー、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)無機化合物粒子、(e)有機チタン化合物及び/又は有機ケイ素化合物及び(f)有機溶媒を含有する絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物であって、前記(e)成分が化1〜化26から選ばれる化合物であることを特徴とする絶縁パターン形成用感光性ペースト組成物。
IPC (3件):
G03F 7/075
, G03F 7/085
, G03F 7/004
FI (3件):
G03F7/075 501
, G03F7/085
, G03F7/004 501
Fターム (17件):
2H025AA00
, 2H025AA18
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA00
, 2H025CB04
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025CC03
, 2H025CC06
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA17
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特開昭61-158861号公報
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特開平2-25847号公報
審査官引用 (4件)