特許

J-GLOBAL ID：200903072725167497

微細形状転写品の製造方法及び光学部材の製造方法

発明者： 楚山 誠
出願人/特許権者： 株式会社有沢製作所
代理人 (1件)： 吉井 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-340301
公開番号（公開出願番号）：特開2000-158458
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 低コストで精度良く微細形状転写品を形成することができる実用性,生産性に秀れた微細形状の転写方法を提供するものである。【解決手段】 微細形状1が形成された第一型2を設け、この第一型2の微細形状1を第一硬化性樹脂3に転写して転写微細形状1'を有する第一硬化性樹脂3製の第二型4を設け、この第二型4を転写微細形状1'面が下側となるようにして支持材5に載置し、この支持材5に載置された第二型4の周囲に硬化後に柔軟性を有する第二硬化性樹脂6を流し込み、硬化後、剥離して第二型4と第二硬化性樹脂6とが一体化した第三型7を設け、この第三型7に第三硬化性樹脂8を流し込み、硬化後、剥離して第三型7中の第二型4の転写微細形状1'が転写された第三硬化性樹脂8製の第四型9を設け、この第四型9に設けられた微細形状1”を転写して微細形状転写品や該微細形状転写品を製造する型を形成するものである。

請求項（抜粋）：

微細形状が形成された第一型を設け、この第一型の微細形状を第一硬化性樹脂に転写して転写微細形状を有する第一硬化性樹脂製の第二型を設け、この第二型を転写微細形状面が下側となるようにして支持材に載置し、この支持材に載置された第二型の周囲に硬化後に柔軟性を有する第二硬化性樹脂を流し込み、硬化後、剥離して第二型と第二硬化性樹脂とが一体化した第三型を設け、この第三型に第三硬化性樹脂を流し込み、硬化後、剥離して第三型中の第二型の転写微細形状が転写された第三硬化性樹脂製の第四型を設け、この第四型に設けられた微細形状を転写して微細形状転写品や該微細形状転写品を製造する型を形成することを特徴とする微細形状転写品の製造方法。

IPC (7件)：

B29C 39/02 ,  B29C 39/26 ,  G02B 3/00 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/18 ,  B29K105:24 ,  B29L 11:00

FI (5件)：

B29C 39/02 ,  B29C 39/26 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/18

Fターム (36件)：

2H049AA04 ,  2H049AA39 ,  2H049AA43 ,  4F202AA33 ,  4F202AA36 ,  4F202AA39 ,  4F202AA42 ,  4F202AA44 ,  4F202AB03 ,  4F202AB11 ,  4F202AF01 ,  4F202AH73 ,  4F202AH75 ,  4F202CA01 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD02 ,  4F202CD05 ,  4F204AA33 ,  4F204AA36 ,  4F204AA39 ,  4F204AA42 ,  4F204AA44 ,  4F204AB03 ,  4F204AB11 ,  4F204AF01 ,  4F204AH73 ,  4F204AH75 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB29 ,  4F204EF01 ,  4F204EF02 ,  4F204EF27 ,  4F204EK24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 光学デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-180116   出願人：リコー光学株式会社
• マイクロ光学素子アレイの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-220946   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭55-121011