特許
J-GLOBAL ID:200903072824897383
弾性表面波装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-247927
公開番号(公開出願番号):特開2001-077658
出願日: 1999年09月01日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】 簡便な構造で、高精度な実装精度で実装することが出来る、小型、軽量な弾性表面波装置を提供すること【解決手段】 圧電基板2上に励振電極1を形成した弾性表面波素子3と保護基体14とから成り、保護基体14に異方性エッチングにより凹部14aを形成するとともに、凹部14aに弾性表面波素子3の励振電極1を対向させたことを特徴とする弾性表面波装置S1とした。
請求項(抜粋):
圧電基板上に励振電極を形成した弾性表面波素子と保護基体とから成り、前記保護基体に異方性エッチングにより凹部を形成するとともに、該凹部に前記弾性表面波素子の励振電極を対向させたことを特徴とする弾性表面波装置。
Fターム (18件):
5J097AA25
, 5J097AA28
, 5J097AA29
, 5J097AA33
, 5J097DD29
, 5J097FF01
, 5J097FF03
, 5J097GG03
, 5J097GG05
, 5J097HA02
, 5J097HA04
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097JJ01
, 5J097JJ03
, 5J097JJ06
, 5J097JJ09
, 5J097KK10
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-117809
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圧電素子の収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-279124
出願人:セイコーエプソン株式会社
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特開平4-117809
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