特許
J-GLOBAL ID：200903072827126035
磁気検出素子
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-347378
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116703
出願日： 2003年10月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】ホイスラー合金を用いた構成の自由度が高い磁気検出素子を提供する。【解決手段】 ホイスラー合金層によって形成されたフリー磁性層16を、fcc層に相当する非磁性材料層の上に積層する。 面心立方(fcc)構造の[111]面は最稠密面であり、この最稠密面が表面に露出しているので、フリー磁性層16の原子が非磁性材料層の内部に拡散混入することを、抑制できる。従って、磁気検出素子の磁界検出感度を向上させることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁化方向が一方向に固定される固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性材料層を介して形成されたフリー磁性層を有する磁気抵抗効果素子において、
前記フリー磁性層と前記固定磁性層のいずれか一方または両方がホイスラー合金層を有しており、面心立方(fcc)構造を有し膜面と平行な方向に[111]面として表される等価な結晶面が優先配向しているfcc層の上に、前記ホイスラー合金層が形成されていることを特徴とする磁気検出素子。
IPC (8件)：
H01L43/08
, C22C19/07
, C22C38/00
, G01R33/09
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
, H01L43/10
H01L43/08 Z
, H01L43/08 M
, C22C19/07 C
, C22C38/00 303S
, G11B5/39
, H01F10/16
, H01F10/32
, H01L43/10
, G01R33/06 R
2G017AD55
, 2G017AD63
, 2G017AD65
, 5D034BA03
, 5D034BA05
, 5E049AA04
, 5E049BA16
