特許
J-GLOBAL ID：200903072848164387
ドレスカセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-205185
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034558
出願日： 2006年07月27日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：
【課題】単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供する。【解決手段】ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、
前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とするドレスカセット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/78 F
, B24B53/00 K
