特許
J-GLOBAL ID:200903072870110207

磁気記録媒体とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 舘野 千惠子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-143566
公開番号(公開出願番号):特開2002-342908
出願日: 2001年05月14日
公開日(公表日): 2002年11月29日
要約:
【要約】【課題】 樹脂製の基板を使って、室温程度の基板温度で製造可能であり、高保磁力、および高いS/N比を実現した高密度記録に適する磁気記録媒体、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 樹脂製の基板上にCo-Pt-Crを主体としてSi酸化物を含有する磁性膜を、前記Si酸化物の含有量がSi原子に換算して、Co-Pt-Crに対して8原子%以上、16原子%以下とするように形成し、結晶間相互作用を低減する。また、前記樹脂製の基板上に前記磁性膜を形成する際、ガス圧を0.133Pa以上、2.66Pa以下としたチャンバー内でスパッタリング法により、樹脂製の基板を非加熱状態で成膜する。
請求項(抜粋):
基板上にCo-Pt-Crを主体とし、Si酸化物を含有する磁性膜が形成され、前記Si酸化物の含有量がSi原子に換算して、Co-Pt-Crに対して8原子%以上、16原子%以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (4件):
G11B 5/64 ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/73 ,  G11B 5/851
FI (4件):
G11B 5/64 ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/73 ,  G11B 5/851
Fターム (16件):
5D006BB02 ,  5D006BB06 ,  5D006BB07 ,  5D006CB01 ,  5D006CB07 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA02 ,  5D112AA05 ,  5D112AA24 ,  5D112BA01 ,  5D112BA10 ,  5D112BB05 ,  5D112FA04 ,  5D112FB20
引用特許:
審査官引用 (2件)

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