特許
J-GLOBAL ID：200903072878275850

薄膜トランジスタ、液晶表示装置、およびその製造方法

発明者：
張 宏勇

張 宏勇 について

, 
長廣 紀雄

長廣 紀雄 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310409
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133807
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板上にTFTを形成する際に、TFT内部に発生する帯電を除去し、TFTの静電破壊を回避する。【解決手段】 TFTを構成するポリシリコンパターンに、TFTのソース領域とドレイン領域とを短絡する短絡パターンを追加し、前記短絡パターンを、前記ソース領域あるいはドレイン領域への配線の形成と同時に、あるいは配線が形成された後で、除去する。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上への薄膜トランジスタの製造方法において、前記絶縁性基板上に、第1の導電型を有する第1の領域と、前記第1の導電型を有する第2の領域と、前記第1の領域と前記第2の領域とを連結する第1の架橋領域と、前記第1の領域と前記第2の領域とを連結する第2の架橋領域とを有する形状のポリシリコンパターンを形成する工程と、前記絶縁性基板上に、前記ポリシリコンパターンを覆うように、絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上にゲート電極パターンを、前記ゲート電極パターンが前記第1の架橋領域を覆うように形成する工程と、前記第1の領域に、配線パターンを前記配線パターンが前記第1の領域にコンタクトするように形成する工程と、前記配線パターンを形成する工程の後、前記第2の架橋領域を切断する工程とを含むことを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。
IPC (4件)：
G02F 1/1368 ,  G02F 1/133 550 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 29/786
FI (5件)：
G02F 1/133 550 ,  G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 A ,  H01L 29/78 623 A
Fターム (106件)：
2H092JA25 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB52 ,  2H092JB57 ,  2H092JB63 ,  2H092JB69 ,  2H092JB79 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KB14 ,  2H092KB23 ,  2H092KB24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA16 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA22 ,  2H092MA27 ,  2H092MA28 ,  2H092MA32 ,  2H092MA35 ,  2H092MA41 ,  2H092MA47 ,  2H092NA14 ,  2H092NA25 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H092QA07 ,  2H093NA16 ,  2H093NC81 ,  2H093NC90 ,  2H093ND40 ,  2H093ND53 ,  2H093ND56 ,  2H093NE03 ,  2H093NE07 ,  2H093NF06 ,  5C094AA31 ,  5C094AA37 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094EB05 ,  5C094GB10 ,  5F110AA16 ,  5F110AA22 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG23 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ18 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL12 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ11
引用特許：
審査官引用 (1件)
  • 液晶表示装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-181257   出願人：株式会社東芝

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