クリーン作業モジュール及びクリーントンネル

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：後藤隆英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-396762
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195620
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】簡易な構造で、クリーン空間内のクリーン度を低コストにて容易に高めることを可能とする。【解決手段】作業ユニット15を、クリーン空間12を画成している奥行方向後方側の本体壁部13bからクリーン空間12の内方側に向かって突出するように取り付けることによって、作業ユニット14を通過したダウンフローのクリーンエア11を均一な層流状態で下方に向けて良好に流動させ、クリーン空間12の下部側に設けられたエア排気部12aを通してモジュール外方側Sに円滑に排出させるように構成するとともに、作業者用ブース15を覆うシート体14aの空間的仕切作用によって、前記作業者用ブース14内の圧力を、モジュール外方側の圧力よりも高く、かつクリーン空間内の圧力よりも低い圧力に維持されるように構成して、クリーン空間内における清浄度を高いレベルで達成するようにしたもの。

請求項（抜粋）：

枠体状に形成された本体部の壁部により、ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間が画成されているとともに、そのクリーン空間内に、ワークを支持する作業ユニット配置され、上記クリーン空間の奥行方向前方側に位置する本体壁部を介して作業者用ブースが隣接するように配置されたものであって、上記作業者用ブース内に位置する作業者が、前記クリーン空間内に向かって奥側に手を延ばしながら上記作業ユニット上のワークに対して各種作業を行う構成になされたクリーン作業モジュールにおいて、上記作業ユニットは、前記クリーン空間を画成している奥行方向後方側の本体壁部から、前記クリーン空間の内部側に向かって突出するように取り付けられているとともに、上記クリーン空間の下部側には、前記ダウンフローのクリーンエアをモジュール外方側に排出するエア排気部が設けられ、前記作業者用ブースは、当該作業者用ブースを覆うシート体によってモジュール外方側と空間的に仕切られるように形成され、上記シート体の空間的仕切作用によって、前記作業者用ブース内の圧力が、モジュール外方側の圧力よりも高く、かつ前記クリーン空間内の圧力よりも低い圧力に維持されていることを特徴とするクリーン作業モジュール。

IPC (3件)：

F24F 7/06 , B01L 1/04 , E04H 5/02

FI (3件)：

F24F 7/06 C , B01L 1/04 , E04H 5/02 B

Fターム (9件)：

3L058BE02 , 3L058BF01 , 3L058BF03 , 3L058BF05 , 3L058BF07 , 3L058BG01 , 3L058BG03 , 3L058BG04 , 4G057AA11

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-262537
特開昭63-099433
清浄作業台
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-106926 出願人：株式会社日立製作所

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