特許
J-GLOBAL ID：200903072899617580
対話型閾値調整
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 大塚 住江
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-501321
公開番号（公開出願番号）：特表2006-515472
出願日： 2004年08月16日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
検査片の特性を検知し、分析してレベル情報を有する欠陥を識別する。検査システム・パラメータの1組の初期閾値を用いてレベル情報を分析し、異常の初期部分を欠陥として捕らえる。捕らえた欠陥の概要を表示し、閾値パラメータに対する潜在的に捕らえられる欠陥の動作曲線も表示する。パラメータを選択的に変化させて修正閾値を形成し、この修正閾値を用いて、異常のレベル情報を分析する。レベル情報の直前の分析に基づいて、異常の更新部分を欠陥として捕らえ、捕らえた異常の概要を、再計算した動作曲線と共に表示する。閾値を選択的に変化させ、欠陥を捕らえ直すステップは、所望に応じて繰り返し、検査システムの処方に用いるために、修正した1組の閾値パラメータを記憶する。
請求項（抜粋）：
検査システムの調整方法であって、
a.前記検査システムを用いて検査片の特性を検知するステップと、
b.前記検知した特性を分析して、位置情報及びレベル情報を含む異常を識別するステップと、
c.前記異常のレベル情報を、検査システム・パラメータの1組の初期閾値を用いて分析するステップと、
d.ステップcにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の初期部分を欠陥として捕らえるステップと、
e.前記捕らえた異常の概要を表示するステップと、
f.前記検査システム・パラメータの少なくとも1つについて、潜在的に捕らえられる欠陥対閾値の動作曲線を表示するステップと、
g.前記検査システム・パラメータの前記少なくとも1つを選択的に変化させ、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を形成するステップと、
h.前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析するステップと、
i.ステップhにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の更新部分を欠陥として捕らえるステップと、
j.前記捕らえた異常の概要、及び再計算した動作曲線を表示するステップと、
k.ステップgからjまでを選択的に繰り返すステップと、
l.検査システムの処方に用いるために、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を記憶するステップと
から成ることを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
4M106AA01
, 4M106CA38
, 4M106DJ11
, 4M106DJ14
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
, 4M106DJ38
