特許

J-GLOBAL ID：200903072900990720

サセプタ装置

発明者： 小坂井 守
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022379
公開番号（公開出願番号）：特開2007-207840
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】サセプタ装置と板状試料との間の熱伝導特性が大きく変化することがなく、パーティクルの発生も少なく、板状試料の裏面へのパーティクルの付着を防止することが可能であり、さらに、サセプタ装置を静電チャック装置として用いた場合においても、静電吸着力が変動したり、電圧印加中止後の離脱性が変化する虞がないサセプタ装置を提供する。【解決手段】本発明の静電チャック装置は、基体と温度調節ベース部材とをシリコン樹脂系接着剤により接着一体化し、この基体の最上部を構成する誘電体板21の上面21aに円柱状の突起部31を複数個設け、これらの突起部31それぞれの頂面31aの中心部に円柱状の微小突起部32を1つ設け、この微小突起部32の頂面32aを板状試料Wを載置する載置面としたことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基体の一主面に複数の突起部を設け、これらの突起部のうちの一部または全部の頂面に1つの微小突起部を設け、これら微小突起部それぞれの頂面を板状試料を載置する載置面としたことを特徴とするサセプタ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

H01L21/68 R ,  H02N13/00 D ,  H01L21/31 C ,  H01L21/302 101R

Fターム (19件)：

5F004BB22 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA17 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045EB06 ,  5F045EM05 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3176305号公報
  

審査官引用 (2件)

• 真空吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-046786   出願人：京セラ株式会社
• 吸着固定装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-278360   出願人：住友大阪セメント株式会社