特許
J-GLOBAL ID:200903072903716238
FPC基板用の搬送パレット及びFPC基板への半導体チップ実装方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
恩田 博宣 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-072757
公開番号(公開出願番号):特開2003-273592
出願日: 2002年03月15日
公開日(公表日): 2003年09月26日
要約:
【要約】【課題】 作業効率よく経済的にFPC基板へ半導体チップを実装できるFPC基板用の搬送パレットを提供する。【解決手段】 搬送パレット11は、補強板としての非伸縮性の支持体12と、該非伸縮性の支持体12上に積層された第1のシリコーンエラストマー層13aと、該第1のシリコーンエラストマー層13a上に積層された第2のシリコーンエラストマー層13bとの積層板として形成されている。第1のシリコーンエラストマー層13aは、動的粘弾性測定により周波数10Hz、温度20°Cで測定したせん断弾性率G’が3.0×104Pa〜5.0×106Paの範囲にあるように形成されている。第2のシリコーンエラストマー層13bは、同様のせん断弾性率G’が5.0×105Pa〜5.0×106Paの範囲にあるように形成されている。
請求項(抜粋):
非伸縮性の支持体と、該非伸縮性の支持体上に積層された第1のシリコーンエラストマー層と、該第1のシリコーンエラストマー層上に積層された第2のシリコーンエラストマー層との積層板からなるFPC基板用の搬送パレットであって、前記第1のシリコーンエラストマー層は、動的粘弾性測定により周波数10Hz、温度20°Cで測定したせん断弾性率G’が3.0×104Pa〜5.0×106Paの範囲にあり、前記第2のシリコーンエラストマー層は、動的粘弾性測定により周波数10Hz、温度20°Cで測定したせん断弾性率G’が5.0×105Pa〜5.0×106Paの範囲にあるFPC基板用の搬送パレット。
IPC (3件):
H05K 13/04
, B65D 85/86
, H01L 21/50
FI (3件):
H05K 13/04 Q
, H01L 21/50 C
, B65D 85/38 R
Fターム (25件):
3E096BA15
, 3E096BB03
, 3E096CA21
, 3E096CB02
, 3E096CC01
, 3E096DA04
, 3E096DA14
, 3E096DB06
, 3E096DC01
, 3E096EA06X
, 3E096FA09
, 3E096FA16
, 3E096FA26
, 3E096FA31
, 3E096GA05
, 5E313AA02
, 5E313AA12
, 5E313AA23
, 5E313CC05
, 5E313DD13
, 5E313EE22
, 5E313FF12
, 5E313FF14
, 5E313FG05
, 5E313FG10
引用特許:
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