特許

J-GLOBAL ID：200903072936263727

露光装置

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142757
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017697
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 各種エラーが発生したときにできるだけオペレータコールを行うことなく回復動作を行って、露光工程のスループットを向上させる。【構成】 投影露光装置機構部1Aに対して、ウエハローダ系制御ユニット2A、レチクルローダ系制御ユニット3A等が接続されている。ホストコンピュータ21において、通常の露光シーケンスを管理するシステム制御手段7A(親タスク)により、子タスクとしての並列制御手段9A、連続制御手段10A,...の動作が制御され、これら制御手段9A,10A,...が制御ユニット2A,3A,...の動作を制御する。システム制御手段7Aに対して独立に親タスクとしてのエラー回復手段22が設けられ、エラー回復手段22がエラー回復処理を行う。

請求項（抜粋）：

マスクパターンを感光基板上に露光する露光本体部と、該露光本体部の動作を制御する複数の制御ユニットと、前記露光本体部でマスクパターンを感光基板上に露光する際の前記複数の制御ユニットの動作シーケンスを制御する主制御手段と、を有する露光装置において、前記複数の制御ユニットでエラーが発生した際に、前記主制御手段とは独立に前記発生したエラーの回復処理を行うエラー回復手段を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G05B 9/02

FI (2件)：

H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 514 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-170520
  
• 半導体露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-281897   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-170520