プリスケーラICテスト方法及びテストプローブカード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327888
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185762
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】不良品ICを早期に選別し、工程およびテスト装置を簡略化するとともに、テスト時間を短縮するプリスケーラICのテスト方法及びテストプローブカードを提供することにある。【構成】プローブカード11上に、プリスケーラIC18の分周周波数領域で動作するOSC12と、IC直流テスタ10の制御信号Vsによって切換えられる複数のスイッチ14〜17と、平均値検出回路20とを有する。OSC12の出力をIC18に供給してその出力をパルス幅変換し、直流電圧/電流を検出することによりIC18の正常/異常の判定を含む交流テストを行う。また、スイッチ14〜17の状態を切り替え、テスタ10からの直流テスト信号Vbにより直流テストを行う。このため、テスタ10との間に直流信号のみの送受により交流および直流テストの双方を行いうる。

請求項（抜粋）：

集積回路テスト装置とプローブカードを用い、直流信号の授受によりプリスケーラICをウェーハ状態のまま機能テストを行うプリスケーラICテスト方法において、前記プローブカード上に、前記プリスケーラICの分周周波数領域で動作する正弦波発生手段と、前記集積回路テスト装置からの制御信号によって切換えられる複数の信号切換え手段と、前記プリスケーラICの出力の平均値を求める平均値検出手段とを有し、前記正弦波発生手段の出力を前記プリスケーラICに供給してそのテスト出力をパルス幅変換し、前記平均値検出手段を介してその直流電圧/電流を検出することにより前記プリスケーラICの正常/異常の判定を含む交流テストを行うとともに、前記複数の信号切換え手段の状態を切替えて前記集積回路テスト装置からの直流テスト信号により直流テストを行うことを特徴とするプリスケーラICテスト方法。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-194432
特開平4-225180
特開平2-243004

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