特許

J-GLOBAL ID：200903072943044739

光透過性部材加工装置

発明者： 小林 丈司
出願人/特許権者： リコーマイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-300036
公開番号（公開出願番号）：特開2003-103392
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月08日
要約：

【要約】【課題】 光透過性部材である透明基板100と、載置台であるX-Yテーブルのガラス台4dとの間に入り込んだ異物のレーザー破壊に起因する透明基板100の傷付きを低減することができる透明導電膜加工装置(光透過性部材加工装置)を提供することである。【解決手段】 X-Yテーブルのガラス台4d上に複数のスペーサー部材4hを突設せしめ、これらスペーサー部材4hを介して透明基板100をX-Yテーブルに載置させるようにした。

請求項（抜粋）：

光透過性部材を載置する載置台と、該載置台上の該光透過性部材に向けてレーザー光を照射するレーザー光照射部とを備え、該レーザー光の照射によって該光透過性部材を加工する光透過性部材加工装置において、該載置台上に複数のスペーサー部材を突設せしめ、これらスペーサー部材を介して該光透過性部材を該載置台上に載置させるようにしたことを特徴とする光透過性部材加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/10 ,  G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

B23K 26/10 ,  G02F 1/1339 500 ,  G02F 1/13 101

Fターム (15件)：

2H088FA06 ,  2H088FA10 ,  2H088FA15 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088MA16 ,  2H089NA24 ,  2H089QA03 ,  2H089QA04 ,  2H089QA12 ,  2H089QA13 ,  4E068CE09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-079085
  
• 薄膜太陽電池の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-291217   出願人：シャープ株式会社
• 基板ビーム加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-083987   出願人：シャープ株式会社
• 特開平3-079085