特許

J-GLOBAL ID：200903072953192230

感光性樹脂組成物及び積層体

発明者： 泰 洋介
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
代理人 (4件)： 鳴井 義夫 ,  清水 猛 ,  伊藤 穣 ,  武井 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-271630
公開番号（公開出願番号）：特開2007-128057
出願日： 2006年10月03日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：

【課題】解像度及び密着性に優れ、かつ良好なレジスト形状、耐薬品性の良好な、アルカリ性水溶液によって現像しうる、感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂積層体とその使用方法を提供する。【解決手段】(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が5000〜500000の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、および(c)光重合開始剤:0.01〜30質量%を含有し、かつ、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマーが2種の特定の化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

感光性樹脂組成物の合計質量に対して、(a)α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体を共重合成分として含む、酸当量で100〜600、重量平均分子量が5000〜500000の熱可塑性共重合体:20〜90質量%、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマー:5〜75質量%、および(c)光重合開始剤:0.01〜30質量%を含有し、かつ、(b)少なくとも一つの末端エチレン性不飽和基を有する付加重合性モノマーが下記一般式(I)の化合物および下記一般式(II)の化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  H05K 3/00 ,  C08F 2/44 ,  C08F 265/02

FI (7件)：

G03F7/027 502 ,  G03F7/027 512 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/00 F ,  C08F2/44 C ,  C08F265/02

Fターム (40件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025BC83 ,  2H025BC92 ,  2H025BJ00 ,  2H025CA00 ,  2H025CB43 ,  2H025CB55 ,  2H025EA08 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  4J011PA69 ,  4J011PA70 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011QA15 ,  4J011QA17 ,  4J011QA23 ,  4J011RA03 ,  4J011WA01 ,  4J026AA43 ,  4J026AA53 ,  4J026AC33 ,  4J026AC36 ,  4J026BA28 ,  4J026BB03 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物及びその使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-354335   出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
• 特開昭64-25147号公報
  
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-160450   出願人：ニチゴー・モートン株式会社
• 光重合性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-228871   出願人：旭化成株式会社