特許
J-GLOBAL ID:200903072977563271

回折光学素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-007182
公開番号(公開出願番号):特開平11-202112
出願日: 1998年01月19日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】【課題】 簡単なパターンの回折格子集合体を用いて高い回折効率で散乱機能を有する回折光学素子を提供する。【解決手段】 モザイク状の素子要素2に分割されており、各素子要素2はモザイク状に配置された格子単位2’からなり、各格子単位2’には直線回折格子6が形成されており、格子単位2’の素子要素2上での配置位置に応じて、その直線回折格子6の格子間隔と格子方向が異なっており、素子要素2に所定の方向から特定波長の照明光3を入射させる場合に、素子要素2中での格子単位2’の配置位置に対応してその格子単位2’からの回折光4が所定の観察面5上の別々の領域に入射するように、直線回折格子6の格子間隔と格子方向が設定されている。
請求項(抜粋):
モザイク状の素子要素に分割されており、各素子要素はモザイク状に配置された格子単位からなり、各格子単位には直線回折格子が形成されており、格子単位の素子要素上での配置位置に応じて、その直線回折格子の格子間隔と格子方向が異なっており、素子要素に所定の方向から特定波長の照明光を入射させる場合に、素子要素中での格子単位の配置位置に対応してその格子単位からの回折光が所定の観察面上の別々の領域に入射するように、前記直線回折格子の格子間隔と格子方向が設定されていることを特徴とする回折光学素子。
IPC (3件):
G02B 5/18 ,  G02B 5/02 ,  G02F 1/1335 520
FI (3件):
G02B 5/18 ,  G02B 5/02 C ,  G02F 1/1335 520
引用特許:
審査官引用 (9件)
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