相対位置計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086489
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283716
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】精密計測と高速計測とを両立させる。【解決手段】相対位置計測装置10は、位置信号発生手段12、相対位置検出手段14,16、相対位置決定手段18等を備えている。位置信号発生手段12は、スケールの主尺及び副尺の相対位置の一定変化量ごとに、一周期の位置信号を発生する。相対位置検出手段14は、位置信号の一周期における複数点に対応させて、相対位置を細かく検出する。相対位置検出手段16は、位置信号の周期を計数して相対位置を粗く検出する。相対位置決定手段18は、相対位置検出手段14,16によって検出された相対位置に基づき相対位置を決定するとともに、相対位置が一定以上の速度で変化する場合は相対位置検出手段14によって検出された相対位置を無視する。

請求項（抜粋）：

スケールの主尺及び副尺の相対位置の一定変化量ごとに一周期の位置信号を発生する位置信号発生手段と、前記位置信号の一周期における複数点に対応させて前記相対位置を細かく検出する第一の相対位置検出手段と、前記位置信号の周期を計数して前記相対位置を粗く検出する第二の相対位置検出手段と、前記第一及び第二の相対位置検出手段によって検出された相対位置に基づき前記相対位置を決定するとともに、前記相対位置が一定以上の速度で変化する場合は前記第一の相対位置検出手段によって検出された相対位置を無視する相対位置決定手段と、を備えた相対位置計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01D 5/245 102 , G01D 5/30

FI (3件)：

G01B 11/00 F , G01D 5/245 102 D , G01D 5/30 H

Fターム (45件)：

2F065AA09 , 2F065AA20 , 2F065AA39 , 2F065BB12 , 2F065BB15 , 2F065BB22 , 2F065BB25 , 2F065BB27 , 2F065CC17 , 2F065DD06 , 2F065FF48 , 2F065HH12 , 2F065LL09 , 2F065LL42 , 2F065QQ03 , 2F065QQ27 , 2F065QQ51 , 2F077AA25 , 2F077CC02 , 2F077NN02 , 2F077NN05 , 2F077QQ05 , 2F077RR27 , 2F077TT23 , 2F077TT31 , 2F077TT42 , 2F077TT52 , 2F077TT62 , 2F077TT71 , 2F103BA37 , 2F103CA02 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103DA02 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA02 , 2F103EA12 , 2F103EA15 , 2F103EC03 , 2F103ED21 , 2F103ED27 , 2F103FA02 , 2F103FA06 , 2F103FA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-057912
特開平2-057912
位相補正機能を備えた位置検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-086356 出願人：オークマ株式会社

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